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      產(chǎn)品中心

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      硅片半導(dǎo)體材料拋光用拋光液

      所屬欄目:產(chǎn)品中心 作者:小編 發(fā)布時間:2021-12-24 16:52 瀏覽量:

      硅片系列拋光液JSY-CM-S800特別適用于各種硅片、砷化鎵、磷化銦、鍺的拋光,具有穩(wěn)定性和分散性良好,去除率高、表面粗糙度小以及對工件無損傷等優(yōu)點。即使在稀釋倍率很高的情況下使用,仍具有很好的拋光效率和使用壽命。

      物化指標(biāo):

      項目Item

      CM-S700A

      CM-S800系列

      CM-S1200

      CM-S1300

      CM-S800

      CM-S801

      A組分

      A組分

      名稱Name

      砷化鎵拋光液

      硅片拋光液

      A組分

      鍺拋光液

      應(yīng)用Application

      GaAs晶片

      硅片

      磷化鋼晶片

      鍺片

      SiO2含量Content of

      35±5

      20±2

      40±2

      35±5

      35±5

      pH (20℃)

      11.0±1.0

      11.0±1.0

      11.0±1.0

      3.0±1.0

      10.0±1.0

      比重 Specific

      graity(kg/L, 20℃)

      1.23-1.235

      1.12-1.18

      1.275-1.285

      1.2-1.3

      1.2-1.3

      粒徑 partical size(nm)

      80±10

      80±10

      40±10

      80±10

      100±10

      包裝Package (kg)

      5, 25, 1250

      符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)RoHS complinat

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